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采用改进垂直布里奇曼法生长出的磷锗锌（ZnGeP2，ZGP）晶体中存在各种缺陷，导致其红外透过率较低，刚生长的晶体不能直接用于制备红外非线性光学器件。分别采用真空、同成分粉末包裹和真空-同成分粉末包裹的复合退火工艺对生长的ZGP晶体进行了退火热处理研究。应用傅立叶红外光谱仪（FTIR）、高阻仪（HRM）、X射线能谱仪（EDS）等对退火前后的晶体性能和成分进行了测试分析。结果表明，三种方法退火后晶体的红外透过率和电阻率都得到改善，其中复合退火工艺的改善效果最为显著，晶体红外透过率由41％提高到60％，电阻率