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以典型纳米器件一单壁碳纳米管场效应晶体管的装配制造为例，进行了规模化装配制造实验研究。采用浮动电势介电泳方法在每平方厘米装配上了六百对器件。实验结果表明本方法实现了规模化装配，且成功率较高。
碳纳米管基纳米器件规模化装配技术
【摘 要】
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以典型纳米器件一单壁碳纳米管场效应晶体管的装配制造为例，进行了规模化装配制造实验研究。采用浮动电势介电泳方法在每平方厘米装配上了六百对器件。实验结果表明本方法实现
【机 构】
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沈阳建筑大学信息与控制工程学院
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2015年6期
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