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采用丝网印刷技术制备Ni-Cu-Zn铁氧体电感器薄膜,并对其性能进行了表征.XRD分析表明,铁氧体薄膜具有相同的晶格结构.研究结果表明,在引入了铁氧体薄膜后,电感器的电感量相对于空心电感器有30%左右的提高,品质因数依频率不同有所改善,共振频率有所降低.经400℃后处理的薄膜电感器在低频时性能最好,50 MHz时电感量提高了27%,品质因数提高了39%.