论文部分内容阅读
用双晶x射线衍射仪测出了注入能量为180keV,不同注入剂量和不同退火温度的N^++As^+双束离子注入的摇摆曲线。利用离子注入的多层模型,试探应变函数和x射线衍射的运动学理论,借助于计算机,用Levenberg-Maruardt最优化法拟合实验曲线,给出了不同剂 退火温度晶格应变随注入深度的变化。