【摘 要】
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一、引言人类在进行宏观世界以及微小领域的研究开发中,对机电工具和设备,在解决高强度、大功率、大型化的同时,也提出了高精度、低耗能、小型化的要求。80年代后期,利用半导
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系
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一、引言人类在进行宏观世界以及微小领域的研究开发中,对机电工具和设备,在解决高强度、大功率、大型化的同时,也提出了高精度、低耗能、小型化的要求。80年代后期,利用半导体集成电路工艺在硅片上制作的微传感器和微执行器的问世,引发了尺寸在毫米级以下的微型机械研究的兴起。1987年,加州大学伯克利分校研制出直径为60～120μm 的硅微静电马达,之后许多新的研究成果不断发表,微机器人的研究也进入日程。
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