柔性声表面波器件的波模式分析

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 68次 | 上传用户：zkinchow

【摘要】

：

用反应磁控溅射法在柔性聚酰亚胺衬底上沉积了ZnO压电薄膜,并制备了基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波(SAW)器件。制备的柔性SAW器件显示了良好的谐振性能,而且展现出两个波模式:模式0和模式1。当波长为32μm,ZnO厚度为4μm时,SAW器件的模式0和模式1的谐振频率分别为34.4MHz和158.5MHz,对应声速为1 100.8m/s和5 072m/s。模式0为已知的瑞利波,模式1为新的高频模

【作者】

：

周剑吴学忠肖定邦何兴理金浩董树荣张伟策

【机构】

：

国防科学技术大学机电工程与自动化学院,福建工程学院信息科学与工程学院,浙江大学信息与电子工程学院,南昌陆军学院

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2016年13期

【关键词】

：

声表面波器件柔性衬底聚酰亚胺衬底压电薄膜波模式 S0兰姆波 Surface Acoustic Wave （SAW） device flexible su

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