微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计

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微机械振动陀螺是新型的惯性元件.其误差源主要有微机械结构的Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差,以及电子机械耦合误差等.这些误差严重影响着陀螺仪的精度.由于制造误差等引起的机械耦合误差,可以通过改善陀螺仪的结构来减小耦合误差.文中从结构设计方面,提出单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案,有效减小机械耦合误差,提高了精度.
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