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用Ｈｅ－Ｎｅ激光器作光源、ＣＣＤ摄像机－微机系统作探测器，应用一个干涉图法在泰曼干涉仪上实现了自动计算干涉图，不但再现了二维等高线图，而且获得了三维波面面形，作为实例，测试了玻璃平板的不平行度。
一个干涉图法波面位相自动探测
【摘 要】
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用Ｈｅ－Ｎｅ激光器作光源、ＣＣＤ摄像机－微机系统作探测器，应用一个干涉图法在泰曼干涉仪上实现了自动计算干涉图，不但再现了二维等高线图，而且获得了三维波面面形，作为实例，测试了玻璃平板的不平
【机 构】
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长春光学精密机械学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1997年3期
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