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大规模集成电路膜厚标准样片的研制及应用
大规模集成电路膜厚标准样片的研制及应用
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zz9506018
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
大规模集成电路
膜厚
标准样片
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本文通过对荣华二采区10<
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