【摘 要】
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本文在对高精度光学非球面摆臂式扫描测量方法简要介绍的基础上,建立了高精度接触式扫描测头的结构模型,详细分析了扫描速度对测量精度的影响规律。在此基础上,利用建立的摆
【机 构】
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中国酒泉卫星发射中心,国防科技大学机电工程与自动化学院,
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本文在对高精度光学非球面摆臂式扫描测量方法简要介绍的基础上,建立了高精度接触式扫描测头的结构模型,详细分析了扫描速度对测量精度的影响规律。在此基础上,利用建立的摆臂式扫描测量系统对500mm口径,相对口径1:1的深型球面镜进行了相关测量实验并与干涉测量结果进行了比对。实验验证了上述分析的正确性。
In this paper, based on the brief introduction of high precision optical aspheric arm scanning method, the structural model of high-precision contact scanning probe is established. The influence of scanning speed on the measurement accuracy is analyzed in detail. On this basis, the relative measurement experiment of 500mm diameter, 1: 1 deep spherical mirror with relative aperture of 1 500 was carried out by using the built-arm scanning measurement system and compared with the interference measurement results. The experiment verifies the correctness of the above analysis.
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