扩散硅力敏器件温度补偿方法的研究

来源 :武汉水利电力大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshigezuiren
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通过对扩散硅力敏器件(SDPS)建模,分析了其零点温漂和灵敏度温度调制的成因,提出了一种基于电阻网络的补偿方法并系统地叙述了电阻网络的配置及参数计算公式.最后给出了一组仿真结果. Through the modeling of diffusive silicon force device (SDPS), the causes of zero temperature drift and sensitivity temperature modulation are analyzed. A compensation method based on resistance network is proposed and the configuration of the resistance network and the formula of the parameters are described systematically. Finally, a set of simulation results are given.
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