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研制了一台超高真空摩擦实验装置,与美国P.E公司生产的PHI—550多功能电子能谱仪联机,实现了在超高真空条件下进行摩擦试验,并配置有多种表面分析手段(AES、XPS、SIMS),原位分析评价材料表面的组成变化,对摩擦学及多种材料学科的应用基础研究有一定的应用前景。
超高真空原位表面分析摩擦实验装置的研制
【摘 要】
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研制了一台超高真空摩擦实验装置,与美国P.E公司生产的PHI—550多功能电子能谱仪联机,实现了在超高真空条件下进行摩擦试验,并配置有多种表面分析手段(AES、XPS、SIMS),原位
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室,中国科学院沈阳科学仪器厂
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年1期
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