【摘 要】
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该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理；其次，通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究，设计了基于MEMs的SOI宽温区微型智能压力传感器的
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该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理；其次，通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究，设计了基于MEMs的SOI宽温区微型智能压力传感器的工艺技术；第三，详细介绍南京盛业达公司研制SOI宽温区微型智能压力传感器的结构和性能。结果表明，该产品具有宽温度工作范围、精度高、稳定性好、结构紧凑、外形美观等优良特性。
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