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介绍了LCD器件市场及发展现状、器件类型和生产线概况。根据LCD器件对曝光设备的工艺特点，重点介绍了几种用于LCD制造的曝光设备，结合LCD器件目前的发展趋势，讨论了曝光设备面临的新课题。
液晶显示器技术及其曝光设备
【摘 要】
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介绍了LCD器件市场及发展现状、器件类型和生产线概况。根据LCD器件对曝光设备的工艺特点，重点介绍了几种用于LCD制造的曝光设备，结合LCD器件目前的发展趋势，讨论了曝光设备面临
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年2期
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