论文部分内容阅读
<正> 一、引言近几年来,对膜状金刚石和非晶态炭膜的合成研究很活跃,而且在部分工具、扬声器振动板、窗材等方面逐渐实用化。因为这种材料具有良好的机械、电、光学性能的缘故。最近,该技术动向也由合成技术逐渐向实用化技术转移。本文主要叙述膜状金刚石及非晶态炭膜的合成、应用及作者的研究工作。二、膜状金刚石的合成