退火对非晶态碲镉汞薄膜微结构和光敏性的影响

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对射频磁控溅射生长的非晶态碲镉汞(a-MCT)薄膜在真空状态下进行退火,并通过x射线衍射(XRD)技术指出原生及低于125℃退火后的MCT薄膜均为非晶态。采用双体相关函数甙,)和电学测试系统研究了退火对a—MCT薄膜微结构和光敏性的影响。结果表明:经110℃、115℃和120℃退火后的a—MCT薄膜短程有序畴尺。由退火前的13.9A分别增大至17.9A、20.8A和26.2A;光敏性则由原来的1.17,分别增加至退火后的2.01、2.67和4.25。
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