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通过对SU 8胶近紫外波段下透射光谱的分析,得到不同波长近紫外光在SU 8胶中的穿透深度,并分析了不同波段近紫外光对SU 8胶微结构的影响,结果表明穿透深度大的近紫外波段曝光出来的图形质量好,深宽比大,侧壁陡直。
不同波段近紫外光在SU—8胶中穿透深度的研究
【摘 要】
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通过对SU 8胶近紫外波段下透射光谱的分析,得到不同波长近紫外光在SU 8胶中的穿透深度,并分析了不同波段近紫外光对SU 8胶微结构的影响,结果表明穿透深度大的近紫外波段曝光
【机 构】
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华中科技大学光电子工程系,华中科技大学光电子工程系,LouisianaStateUniversity
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2004年01期
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