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以CF4/Ar作为等离子体刻蚀废气的模拟气体,经电感耦合等离子放电之后,通过CaO固体粉末进行废气的吸收,测得吸收废气的CaO的发射光谱.与模拟刻蚀废气光谱比较可知,CaO可除去废气中70%的F元素,并给出了未能全部清除的原因.
发射光谱法研究CaO对等离子体刻蚀废气的吸收作用
【摘 要】
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以CF4/Ar作为等离子体刻蚀废气的模拟气体,经电感耦合等离子放电之后,通过CaO固体粉末进行废气的吸收,测得吸收废气的CaO的发射光谱.与模拟刻蚀废气光谱比较可知,CaO可除去废
【机 构】
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东莞理工学院电子系
【出 处】
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光谱实验室
【发表日期】
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2005年1期
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