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期刊论文
GaAs单片集成激光器驱动电路在片测量
GaAs单片集成激光器驱动电路在片测量
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bfhx1314
【摘 要】
:
用多触头微波探针,对GaAs单片集成激光器驱动电路芯片进行了在片测试和筛选,测得芯片频率响应带宽为3.8GHz,使用高速增益开关半导体激光器作为采样光脉冲源,采用了背面直接爱样方式建立了电
【作 者】
:
孙伟
张慕义
【机 构】
:
吉林大学电子工程系集成光电子学国家重点联合实验室吉林大,河北半导体研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2000年10期
【关键词】
:
在片测量
砷化镓
单片集成电路
激光器
驱动电路
electro|optic sampling
on|wafer test
monolithi
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用多触头微波探针,对GaAs单片集成激光器驱动电路芯片进行了在片测试和筛选,测得芯片频率响应带宽为3.8GHz,使用高速增益开关半导体激光器作为采样光脉冲源,采用了背面直接爱样方式建立了电光采样测试仪,检测了GaAs单片集成激光器驱动电路芯片内部点的调整电信号波形。
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