论文部分内容阅读
概述了为IC生产中绝缘体上硅(SOI)、硅/多晶硅、浅沟槽隔离(STI)、氧化物(PMD和ILD)、钨(W)、铜(Cu)和铝(Al)等不同化学机械抛光(CMP)用途开发的CMP设备的进展,讨论了新一代CMP设备(MIRRARCMP)对IC器件生产的影响及其特性.
新一代CMP设备及其对IC器件的影响
【摘 要】
：
概述了为IC生产中绝缘体上硅(SOI)、硅/多晶硅、浅沟槽隔离(STI)、氧化物(PMD和ILD)、钨(W)、铜(Cu)和铝(Al)等不同化学机械抛光(CMP)用途开发的CMP设备的进展,讨论了新一代C
【机 构】
：
AppliedMaterials公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2003年2期
其他文献
目的 了解我院药品不良反应的发生特点,促进临床合理用药.方法 对我院2012年度收集到的568例ADR报告进行统计、分类和分析.结果 ADR多发生在45岁以上年龄组；抗感染药物发生的A
在双时间尺度紊流模型的基础上,对线性涡粘性模型进行了修正,建立了封闭的非线性双时间尺度紊流模型.采用交错网格系统和有限体积法,将修正后的模型应用于具有回流的突扩流的
针对位于坡水区的唐河二干二支排水倒虹吸进、出口没有明显河沟的特点，对其进口汇流、出口扩散等问题进行了详细研究．并根据水工模型试验成果，将其进、出口渐变段布置成扭曲面接
纵隔肿瘤来源各异,病理类型较多,常见的有畸胎类肿瘤,胸腺瘤和神经源肿瘤等.据文献报道纵隔肿瘤有10.1%～25%的恶性率[1].所以一般除已有远处转移或其它不能手术的指征外,一经
水力机械的传递特性能够表达自身的水力性能以及与之相关的机械性能.所叙述的水泵传递特性理论与实验研究,传递系统除水压和流量特性之外,还包含了水泵转轴的转动力矩和转动
急性细菌性痢疾是小儿夏秋季常见传染病,其发病快、中毒症状重,若不及时有效的治疗,严重时可危及小儿的生命,我们在治疗菌痢时选用头孢三代加生理盐水清洁洗肠、庆大霉素灌肠
介绍了模糊综合评价法和集对分析方法在水质评价中的应用,并以京杭大运河邳州段为例分析了两种评价方法的优劣。结果表明：两种评价方法的评价结果基本一致,认为从1995年到2001
作者应用时域显式有限元模型分析了可压缩库水条件下淤积泥砂对垂直地运动作用时刚性坝面上动压力的影响.文中首先通过与解析解的比较,验证了计算模式的正确性.随后的分析中
以唐山市各气象站点年均降水量为目标变量,以地形、下垫面、海陆位置因素为解释变量,采用GIS与RDA分析方法,定量分析了唐山市降水量空间分布特征及其影响因子。结果表明,唐山
该系统运用传感器技术、自动检测技术、无线通讯技术和微型计算机技术，实现对远程数据的采集。系统由上位机和下位机组成，其间用RS232接口相联。下位机由MSP430F149芯片的单片