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期刊论文
硅CVD外延自掺杂效应的分析研究
硅CVD外延自掺杂效应的分析研究
来源 :电子科学学刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cr_idealism
【摘 要】
:
本文首先对自掺杂机理进行了分析。并采用反向补偿原理,吸附-解吸、滞流层静态-动态转换等,对工艺进行优化,在通常条件下有效地控制了自掺杂。
【作 者】
:
刘玉岭
金杰
徐晓辉
张德臣
【机 构】
:
河北工业大学电子系,河北工业大学电子系天津300130,天津300130,天津300130
【出 处】
:
电子科学学刊
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
硅
反向补偿
CVD
外延
自掺杂
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本文首先对自掺杂机理进行了分析。并采用反向补偿原理,吸附-解吸、滞流层静态-动态转换等,对工艺进行优化,在通常条件下有效地控制了自掺杂。
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