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本文首先对自掺杂机理进行了分析。并采用反向补偿原理，吸附－解吸、滞流层静态－动态转换等，对工艺进行优化，在通常条件下有效地控制了自掺杂。
硅CVD外延自掺杂效应的分析研究
【摘 要】
：
本文首先对自掺杂机理进行了分析。并采用反向补偿原理，吸附－解吸、滞流层静态－动态转换等，对工艺进行优化，在通常条件下有效地控制了自掺杂。
【机 构】
：
河北工业大学电子系,河北工业大学电子系天津300130,天津300130,天津300130
【出 处】
：
电子科学学刊
【发表日期】
：
1996年3期
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