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从电解加工的特点出发，对影响微细阵列孔加工精度的因素进行了分析。电解加工过程中，工具阴极和工件阳极之间存在加工间隙是导致误差的根源。微细阵列孔的电解加工误差可分为复制误差和重复误差，电场强度的分布状态和杂散腐蚀是造成复制误差的最重要因素，而气泡在加工区域的堆积导致了重复误差的产生。通过理论和实验分析，为实验加工提供了提高加工精度的措施和办法。