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考虑了光刻胶对光吸收作用，在已有描述胶层内光场分布模型的基础上，较为准确地推导出光刻胶层内不同深度位置的光场分布．使用迭代方法计算得到了胶层内曝光量空间分布曲线，分析了不同曝光量下胶层内的线条轮廓，为直写光刻中曝光量的选择提供了依据．实验结果分析与理论分析的结果一致．
激光直写光刻中线条轮廓的分析
【摘 要】
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考虑了光刻胶对光吸收作用，在已有描述胶层内光场分布模型的基础上，较为准确地推导出光刻胶层内不同深度位置的光场分布．使用迭代方法计算得到了胶层内曝光量空间分布曲线，分析了
【机 构】
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南开大学现代光学研究所,中科院长春光机所应用光学国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年2期
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