【摘 要】
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采用微波等离子体CVD(MPCVD)法在YG6硬质合金基体表面沉积金刚石涂层,在金刚石的形核和生长阶段分别采用不同的沉积条件,研究了分步沉积工艺对金刚石涂层形核、质量及其附着
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采用微波等离子体CVD(MPCVD)法在YG6硬质合金基体表面沉积金刚石涂层,在金刚石的形核和生长阶段分别采用不同的沉积条件,研究了分步沉积工艺对金刚石涂层形核、质量及其附着性能的影响.结果表明:采用分步优化的沉积工艺,可明显改善金刚石涂层与刀具基体之间的附着性能,这主要是由于基体表面形核密度的提高,增大了涂层与基体之间的实际接触面积.
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