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本文介绍一套测量反射式高能电子衍射强度振荡的简单而有效的系统,并以此对Si(111)衬底上同质外延Si时的RHEED强度振荡特性进行了观测。
反射式高能电子衍射强度振荡的自动测量系统
【摘 要】
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本文介绍一套测量反射式高能电子衍射强度振荡的简单而有效的系统,并以此对Si(111)衬底上同质外延Si时的RHEED强度振荡特性进行了观测。
【机 构】
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复旦大学表面物理实验室,复旦大学表面物理实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1990年4期
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