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离子束混合AL—Mn非晶溥膜电性的原位测量
离子束混合AL—Mn非晶溥膜电性的原位测量
来源 :武汉大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xtgdscf
【摘 要】
:
在200keV离子注入机的变温靶上交叠蒸镀多层Al-Mn薄膜,用Ar~+离子束在室温下轰击使其非晶化,原位测量薄膜样品的电阻率随离子剂量以及温度的变化关系,电阻温度系数TCR及TEM观
【作 者】
:
郭怀喜
范湘军
【出 处】
:
武汉大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1989年2期
【关键词】
:
离子束
非晶溥膜
原位测量
混合
ion beam mixing amorphous film 'in situ' measurement
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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在200keV离子注入机的变温靶上交叠蒸镀多层Al-Mn薄膜,用Ar~+离子束在室温下轰击使其非晶化,原位测量薄膜样品的电阻率随离子剂量以及温度的变化关系,电阻温度系数TCR及TEM观测结果证实了非晶相的存在。
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