离子束混合AL—Mn非晶溥膜电性的原位测量

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在200keV离子注入机的变温靶上交叠蒸镀多层Al-Mn薄膜,用Ar~+离子束在室温下轰击使其非晶化,原位测量薄膜样品的电阻率随离子剂量以及温度的变化关系,电阻温度系数TCR及TEM观测结果证实了非晶相的存在。
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