【摘 要】
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本文描述了用一种新的离子集团束技术在较低的温度下在Ｓｉ衬底上外延生长ＧａＡｓ的初步实验结果．实验表明：Ａｓ＋离子束轰击对于去除Ｓｉ上自然氧化层是有效的，在衬底温度为５５０℃得到ＧａＡｓ单晶．
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本文描述了用一种新的离子集团束技术在较低的温度下在Ｓｉ衬底上外延生长ＧａＡｓ的初步实验结果．实验表明：Ａｓ＋离子束轰击对于去除Ｓｉ上自然氧化层是有效的，在衬底温度为５５０℃得到ＧａＡｓ单晶．
This paper describes the preliminary experimental results of epitaxially growing GaAs on Si substrate at a lower temperature using a new ion cluster beam technique. Experiments show that As + ion beam bombardment is effective for removing the native oxide layer on Si, and the GaAs single crystal is obtained at a substrate temperature of 550 ° C.
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