ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lz251667032

【摘要】

：

采用常压MOCVD方法在Al2O3(00.1)衬底上生长出了高质量ZnO单晶薄膜.由ZnO(00.2)面和Al2O3(00.6)面及ZnO(10.2)面和Al2O3(11.6)面X射线双晶ω/2θ衍射曲线的相对峰位,得到ZnO

【作者】

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郑畅达方文卿王立莫春兰蒲勇戴江南刘卫华江风益

【机构】

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南昌大学

【出处】

：

发光学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

氧化锌 X射线双晶衍射取向偏差弯曲半径 ZnO DCXRD misorientation bending radius

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采用常压MOCVD方法在Al2O3(00.1)衬底上生长出了高质量ZnO单晶薄膜.由ZnO(00.2)面和Al2O3(00.6)面及ZnO(10.2)面和Al2O3(11.6)面X射线双晶ω/2θ衍射曲线的相对峰位,得到ZnO外延膜的晶格常数及外延层和衬底间的取向差异角.结果表明外延层和衬底在应力作用下产生了取向差和晶格畸变,并且取向倾斜方向与衬底的切割倾角方向一致;高温直接生长的样品的取向差比有低温缓冲层样品更大,晶格畸变也更严重.高温直接生长的样品弯曲半径小而应力更大;实验测量的应力值和理论计算的热应

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