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采用YBCO/LaAlO2薄膜制作出5ns、10ns超导微波延迟线,并以小型斯特林制冷机作冷源,给出了延迟线的延迟和插损特性,在77K,1GHz、5GHz、10GHz时5ns延迟线的插损分别为0.12dB/ns、0.55dB/ns、1.2dB/ns;10ns超导微波延迟线在2Gz、4GHz、6GHz插损分别为了9dB/ns、0.44dB/ns、0.63dB/ns。描述了器件与制冷的设计、制作过程。