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采用ＹＢＣＯ／ＬａＡｌＯ２薄膜制作出５ｎｓ、１０ｎｓ超导微波延迟线，并以小型斯特林制冷机作冷源，给出了延迟线的延迟和插损特性，在７７Ｋ，１ＧＨｚ、５ＧＨｚ、１０ＧＨｚ时５ｎｓ延迟线的插损分别为０．１２ｄＢ／ｎｓ、０．５５ｄＢ／ｎｓ、１．２ｄＢ／ｎｓ；１０ｎｓ超导微波延迟线在２Ｇｚ、４ＧＨｚ、６ＧＨｚ插损分别为了９ｄＢ／ｎｓ、０．４４ｄＢ／ｎｓ、０．６３ｄＢ／ｎｓ。描述了器件与制冷的设计、制作过程。