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作者从稳定蒸Al工艺、控制好Al-Si簿膜中Si含量及分布的目的出发,用Auger能谱对双枪电子束蒸发淀积的Al-Si簿膜进行了测试。弄清了Si含量及分布,得到了一些实用结果,为蒸Al工艺的优化提供了依据。
Al—Si薄膜中的Si含量及分布
【摘 要】
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作者从稳定蒸Al工艺、控制好Al-Si簿膜中Si含量及分布的目的出发,用Auger能谱对双枪电子束蒸发淀积的Al-Si簿膜进行了测试。弄清了Si含量及分布,得到了一些实用结果,为蒸Al工
【机 构】
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骊山微电子学研究所陕西临潼710600
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1992年5期
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