化学钝化

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导电器件的均匀钝化方法(英文)(美国专利)20060172529 A1(2006-08-03);用于化学机械抛光的料浆配方(英文)(美国专利)20060143993 A1(2006-07-06);一种形成金属钝化层的方法(英文)(美国专利)20060068097 A1(2006-03-30);镀铜层上阻挡层形成前的钝化方法(英文)(美国专利)20060024951 A1(2006-02-02);采用有机硅氧烷前驱体制备低介电常数薄膜的方法(英文)(美国专利)20060063012 A1(2006-03-2
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