【摘 要】
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本文提出一种三重动力吸振器减振方案,用于抑制光刻机顶部测量框架多阶模态峰值。首先,结合光刻机动力学架构和掩模台伺服误差,识别振源并确定受控模态参数;其次,根据受控模
【机 构】
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本文提出一种三重动力吸振器减振方案,用于抑制光刻机顶部测量框架多阶模态峰值。首先,结合光刻机动力学架构和掩模台伺服误差,识别振源并确定受控模态参数;其次,根据受控模态参数,计算三重动力吸振器最优同调和最优阻尼比;最后,通过有限元仿真和试验模态,对该方案减振性能进行研究分析。结果表明,该方法能有效抑制光刻机顶部测量框架的多阶模态振动幅值,试验结果与仿真结果吻合较好。
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