【摘 要】
：
对于评价用于极大规模集成电路(ULSI)生产的300 mm硅抛光片的表面质量,需要关注两个关键参数即:SFQR和GBIR。在中国电子科技集团第四十五研究所研发的中国第一台最终化学精密
【机 构】
：
有研半导体材料股份有限公司; 有色金属研究总院; 中国电子科技集团第四十五研究所;
论文部分内容阅读
对于评价用于极大规模集成电路(ULSI)生产的300 mm硅抛光片的表面质量,需要关注两个关键参数即:SFQR和GBIR。在中国电子科技集团第四十五研究所研发的中国第一台最终化学精密抛光机的验证过程中,我们发现为了提高硅片表面的几何参数,必须监控抛光前硅片的形貌,并根据不同的硅片表面形貌来改变抛光头的区域压力。通过深入分析抛光前硅片的表面形貌,我们发现当硅片形貌为凹陷形状时,抛光后的硅片表面将严重恶化。由此,根据每个硅片不同的形貌,我们用特殊设计的抛光头来调整背压的区域分布,然后再进行抛光。最终,经过抛光头区域压力调整后的硅片几何参数比调整前得到了大幅提升,并已经能够满足我们的产品指标并可以用于生产。
其他文献
从正在建设中的目前世界最大直径的单管双层隧道——扬州瘦西湖隧道传来佳讯：刀盘直径为14．93m的世界超大直径之一的泥水平衡盾构机，在扬州瘦西湖隧道掘进中创造了平均日掘进4环
固定资产是企业赖以生存的物质基础,是企业产生效益的源泉。文章分析了国有发电企业固定资产管理存在的问题,提出加强国有发电企业固定资产管理的对策。
高速干切削技术作为一种新型的绿色制造技术,不仅能避免切削液对环境的污染,而且能大幅度降低产品的生产成本.文中介绍了高速干切削技术研究现状,对实现高速干切削的机床技术
根据"需求层次理论",将农民工的信息需求分为物质信息、安全信息、尊重信息、自我实现信息四类,分别考察了四类信息的满意度。通过实证研究发现:农民工对信息总体上较满意,四
本文以煤炭城市韩城市为例 ,针对城市主导产业现状及城市环境问题 ,分析产业结构发展的机制、工业企业与社会环境的相关关系 ,提出可持续发展的对策。
品牌是能给拥有者带来溢价、产生增值的最宝贵的无形资产。近年来,山东渔业经济呈现良好态势,水产品总产量连续增长,但根据作者对烟台、威海、青岛、济宁、东营五个城市渔业
利用倒转图设计的实验考察了 3 - 6岁儿童视觉认知的发展特点 ,研究结果表明 :3岁儿童对倒转后的图形重新认知有难度 ,4岁及以后的儿童对倒转图重新认知的能力得到迅速发展。
为解决人力资源市场中的劳务派遣问题,2012年修改了《劳动合同法》,自2013年7月1日起实施。《劳动派遣暂行规定》对新《劳动合同法》中劳动派遣用工进行了详细规定,自2014年3
<正> 反映了物体在热量交换过程中的能量转换规律.这一方程在热学中的地位是非常重要的.但是目前在一般的各种物理学教科书尤其是中学物理教科书及参考书都把这一方程看作是
近年来,网络移动性管理的研究和应用非常活跃,引起了广泛的重视,已成为无线通信发展过程中的一个重要分支,涉及到位置管理、切换管理、路由优化技术、安全机制、互操作控制等