注入损伤及其对隧穿的影响

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注入损伤及其对隧穿的影响=Implanta-tiondamageanditseffectonchannelling[刊,英]/Ben-nett.D.J.…Microelectron.J.-1993.24(7).-811~817用隧穿效应模拟硅中的注入... Implantation Injury and Its Impact on Tunneling Implantation and Impression Tunneling Bennett / Bennett. D. J. Microelectron. J. -1993.24 (7). -811 ~ 817 Tunneling Effect Simulation of Silicon Implantation ...
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