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全自动探针测试台之关键技术
全自动探针测试台之关键技术
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haibei007
【摘 要】
:
根据国内外半导体产业的发展趋势,分析了ψ200mm全自动探针测试台在中国的发展及所需的相关技术.
【作 者】
:
高慧莹
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第45研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2005年7期
【关键词】
:
探针测试台
发展
集成电路
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根据国内外半导体产业的发展趋势,分析了ψ200mm全自动探针测试台在中国的发展及所需的相关技术.
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