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甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
来源 :广东有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong592
【摘 要】
:
以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金
【作 者】
:
代明江
宋进兵
周克崧
戴达煌
刘正义
瞿全炎
【机 构】
:
广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,华南理工大学
【出 处】
:
广东有色金属学报
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
浓度
methane
diamond films
morphology
thermal conductivity
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以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金刚石膜.
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