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引言纳米硅（nc-Si：H）薄膜是一种由大量硅细微晶粒（仅几个纳米nm大小）和包围着这些晶粒的晶间界面所组成的新型纳米电子材料。纳米硅薄膜（几个微米厚）中的晶粒是晶态的,晶粒大小为3～8 nm,占整个膜层的体积百分比的50%,另外50%体积百分比则是由非晶态的硅原子构成的晶间界面区,其厚度为2～4个原子层。硅晶粒在薄膜中的分布是不规则的。