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本文运用有限元中电-热-结构多物理场耦合方法,模拟分析了温度梯度法合成宝石级金刚石的腔体内热应力分布,并考察了在热效应对晶体生长的影响。模拟结果表明:在降温过程中,合成装置中热应力分布不均匀。白云石、钢帽、氯化钠管和生长区域中热应力分布比较大。在石墨与白云石、石墨与氯化钠管和氯化钠管与白云石结合面处热应力很大。金刚石的上表面和晶体的晶角上热应力分布很大。模拟结果与晶体晶裂实验接吻合得很好,证明了金刚石合成腔体里的热应力有限元模型的正确性,为设计腔体提供了依据。