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概述了当前光学光刻技术现状及今后发展目标,并结合设备市场介绍了ASML、Canon、Nikon 3大设备制造商概况.
光学光刻现状及设备市场
【摘 要】
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概述了当前光学光刻技术现状及今后发展目标,并结合设备市场介绍了ASML、Canon、Nikon 3大设备制造商概况.
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年1期
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