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本文采用Langmuir单静电探针法,分析诊断了电子回旋共振等离子体的参数分布特性,并分析了微波功率、气压对轴向、径向等离子体空间分布的影响。在微波功率400W~650W范围内等离子体具有较高的密度及良好的径向均匀性。
Langmuir单探针诊断电子回旋共振等离子体参数分布特性
【摘 要】
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本文采用Langmuir单静电探针法,分析诊断了电子回旋共振等离子体的参数分布特性,并分析了微波功率、气压对轴向、径向等离子体空间分布的影响。在微波功率400W~650W范围内等
【机 构】
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华南师范大学．广州510006,广东技术师范学院
【出 处】
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大学物理实验
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金项目[10575039],教育部高校博士点专项科研项目[20040574008]：广东省自然科学基金重点项目[05100534],广州市科技计划项目[200523一D2031]
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