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本检测系统以电感探测以及二维运动平台为核心,组成具有二维表面平整度检测的系统。电感感测探头以LDC1000为测量转换芯片,距离测量有效精度能够达到0.01mm。基于GRBL的CNC控制板设计的二维运动平台能够实现高速运动,从而提高测量效率。通过可视化编程,实现了测量结果的直观展现。实验表明,该系统能够有效的实现二维表面的高精度测量,在工件表面缺陷检测领域具有很广的应用。