【摘 要】
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介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ,并对其结构特性进行了分析 ,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
The structure and principle
【机 构】
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北京理工大学机电学院,北京理工大学机电学院,北京理工大学机电学院,北京理工大学机电学院 北京100081,北京100081,北京100081,北京100081
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介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ,并对其结构特性进行了分析 ,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
The structure and principle of several high-g MEMS accelerometer sensors are introduced, and their structural characteristics are analyzed. Finally, the structure and simulation results of the circular diaphragm used in the research are given.
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