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本文简要从版图设计、工艺等方面介绍薄膜双面电阻图形的制作 技术。薄膜双面电阻图琪板附合标准要求，可实现小批量生产。依此基板研制了ＬＨＢ２００４带温控正、负恒流源混合微电路。
薄膜混合微电路双面电阻图形制作技术
【摘 要】
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本文简要从版图设计、工艺等方面介绍薄膜双面电阻图形的制作 技术。薄膜双面电阻图琪板附合标准要求，可实现小批量生产。依此基板研制了ＬＨＢ２００４带温控正、负恒流源混合微电路。
【机 构】
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西安微电子技术研究所,710600
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1997年2期
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