金刚石声表面波器件的研制

来源 :天津理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lantianaaaaa
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
对ZnO/IDT/金石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光Si基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化钎压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,又指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4GHz.
其他文献
计算机技术与测试测量仪器技术的结合,出现了新的测试仪器——虚拟仪器(VI),采用虚拟仪器的软件战略是第三代自动测试系统的发展方向.本文结合VI编程语言平台LabVIEW实现了机动车
将聚天冬氨酸与脱乙酰基壳聚糖(chitosan)进行共聚反应生成新的水溶性共聚物——一种新型阻垢剂.运用生物方法研究聚天冬氨酸壳聚糖共聚物的可降解性.将共聚物用活性污泥滤液降解
目的:探讨高渗氯化钠羟乙基淀粉40注射液(HSH)对高原创伤失血性休克大鼠的救治作用及量效关系。方法:初进高原雄性SD大鼠30只,随机分3组,乳酸林格液(LR)组输注1.5倍失血量LR,HSH4组输注
自组织特征映射网络(Self-organizing map,SOM)在聚类分析中具有广泛的应用,和其他神经网络一样,SOM网络具有黑箱性质,缺乏严格的理论基础,无法对聚类过程进行分析.结合复杂系统分形
目的 探讨急救流程培训在妇科新护士带教中的作用。方法 选择2010年1月至2011年12月首次轮转到妇科病房的3年内新护士40名作为试验组;2008年1月至2009年12月首次轮转到妇科
本文研究了南瓜汁在恒容热过程中胡萝卜素含量的变化,通过对一般反应速率模型与拟平方根反应速率模型比较,基于后者及Arrhenius方程建立了南瓜汁在恒容热过程中胡萝卜素损失动
目的:观察普伐他汀治疗变异型心绞痛的临床疗效。方法:66例变异型心绞痛患者随机分为对照组(n=33)和治疗组(n=33),观察两组临床疗效、治疗前后血脂变化及心血管事件发生情况。结果:治
本体之间的整合操作,是解决本体重用问题的有效途径.在创建本体的过程中,尽管在同一领域内,由于设计者有着不同的视角,使得本体间的交互与重用变得非常困难.本文首先对整合问题中涉
炎症是高等动物机体对各种损伤性刺激的一种天然防御反应,它主要发生在有血管分布的组织内.其主要作用是限制损伤、促进损伤组织的修复等。在胃肠道,炎症反应是黏膜抵御内源性和
采用射频磁控溅射法在Si(111)和Si(100)上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所