主要介绍了飞秒电子衍射系统的组成及设计指标.包括光电阴极、电子聚焦系统、电子偏转系统、双微通道板(MCP)电子探测器等,并给出了基本的设计思路、设计结果.光电阴极是由位于蓝宝石晶体上面的银膜构成,为了获得足够小的电子束斑以及减小电子上靶时的角度,紧贴栅极后放置一个100μm的小孔,对电子束的形状和大小进行限制.采用磁电子透镜进行聚焦,电子衍射图样由放置在样品后面的双MCP像增强器进行探测.在设计计算时,用Monte Carlo方法对光电子的初能量、初角度以及初位置分布进行抽样,用有限元法计算磁透镜周围的磁场分布,用有限差分法计算阴极和栅极之间以及偏转板之间的电场分布,用四阶龙格-库塔法模拟跟踪大量光电子(3000个)的运行轨迹.统计分析了3000个电子在最佳像面的时间分布、位置分布、方位角以及倾角分布,计算了飞秒电子衍射系统的空间、时间调制传递函数.