旋转镀膜装置及柱面复型技术

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangchong123
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<正> 目前碳复型技术已得到极广泛的应用。大多采用金相平面试样真空镀膜机获得碳复型。这种方法有以下两个缺点(1)由于采用的蒸发源近似“点源”膜的厚度随膜面对点源所张的立体角而变化,实际上碳膜的厚度是很不均匀的。(2)不能完成对柱面表面的喷碳获得一次碳复型。为此我们研制了一个新的镀膜装置——旋转镀膜装置。
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