【摘 要】
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分析了导致真空失效的漏放气因素。通过超高灵敏度检漏技术,可以严格控制漏气对真空寿命的影响。用功率形式的放气模型q（t）=q0（t/t0）-α描述了杜瓦真空夹层的放气率退化特性。用
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分析了导致真空失效的漏放气因素。通过超高灵敏度检漏技术,可以严格控制漏气对真空寿命的影响。用功率形式的放气模型q（t）=q0（t/t0）-α描述了杜瓦真空夹层的放气率退化特性。用温度加速了杜瓦真空夹层内的真空退化进程。用阿列尼斯模型q=q0exp（-E/RT）描述了温度对材料放气率的影响。根据理论分析和放气率实验,可确定出加速因子。
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