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CBE设备的控制系统
CBE设备的控制系统
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ncla02
【摘 要】
:
化学束外延(CBE)是半导体超薄层材料生长技术的最新发展,它兼有MBE和MOCVD两者的优点。我们研制出了CBE设备。本文给出了CBE设备的控制系统的硬、软件设计。
【作 者】
:
韩汝水
付首清
张利强
余文斌
【机 构】
:
中国科学院半导体所,中国科学院沈阳科仪厂,中国科学院沈阳科仪厂北京100083,沈阳110003
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1991年6期
【关键词】
:
化学束外延
设备
控制
硬件
软件
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化学束外延(CBE)是半导体超薄层材料生长技术的最新发展,它兼有MBE和MOCVD两者的优点。我们研制出了CBE设备。本文给出了CBE设备的控制系统的硬、软件设计。
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