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采用Bi（NO3）3·5H2O和Fe（NO3）3·9H2O为原料，用溶胶-凝胶方法在Pt/Ti/SiO2/Si制备了BiFeO3薄膜。XRD研究表明在500℃以上退火薄膜能够获得良好的结晶。铁电性测试结果表明450℃和500℃退火的薄膜铁电性相对较弱。在430 kV/cm的测试电场下，剩余极化分别为0.255μC/cm^2和0.36μC/cm^2。而550℃和600℃退火的薄膜的铁电性相对较强，在相同的测试电场下剩余极化强度分别为2.27μC/cm^2和2.97μC/cm^2。介电性研