【摘 要】
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研究热阴极离子镀设备制备TiN薄膜膜层的主要性能。采用自主研发的XH-830型热阴极离子镀膜机，在硬质合金ZK1基体上制备TiN薄膜；利用X射线衍射仪，自动划痕仪，显微硬度计和扫描电镜
【基金项目】
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四川省特种材料及制备技术重点试验室资助项目
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研究热阴极离子镀设备制备TiN薄膜膜层的主要性能。采用自主研发的XH-830型热阴极离子镀膜机，在硬质合金ZK1基体上制备TiN薄膜；利用X射线衍射仪，自动划痕仪，显微硬度计和扫描电镜对薄膜进行了结构分析和性能检测。采用XH-830镀膜机能制备单一的TiN薄膜，膜层晶体为细小的柱状晶，膜-基结合力能达到81N，TiN硬度达到2240HV以上，经切削试验证明，能提高被镀刀片寿命30％。
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